螺桿真空泵使用時常充入氮氣，主要是用氮氣吹掃泵，可以延緩腐蝕性氣體對泵的腐蝕，從而起到很好的保護作用。

螺桿真空泵為什么要用氮氣，我們可以總結出以下幾個原因：

1、向螺桿真空泵內通入氮氣，在真空泵內壁形成一層薄弱的保護氣膜。氮氣壓力不宜過大或過小。壓力過大會影響抽真空效果，增加能耗；太小可能導致沒有保護作用。

2、抽腐蝕性氣體的泵使用氮氣，氮氣吹掃泵，延緩腐蝕性氣體對泵的腐蝕。

3、真空鍍膜過程中使用的一些氣體對螺桿真空泵有腐蝕作用，所以選用這種泵。但是壁中的氮氣和泵是分開的。

4、多少單位的氮可以用來涂上他們需要的顏色。有些顏色使用乙炔。在實際應用中，大多使用氬氣。

5、密閉，稀釋工藝氣體。減少腐蝕和工藝粘附。

6、氮氣在沒有一定的輔助條件如溫度、壓力或催化劑的情況下很難與外界發生反應。因此，在清洗泵系統的過程中，使用氮氣吹掃更為安全可靠。

7、氮氣的吸附熱小，在物體表面的吸附時間短。當氮氣吸附在螺桿真空泵的壁面時，很容易被抽走。真空系統清潔中的氮氣吹掃正式利用了此功能。在真空鍍膜中，真空系統用干燥的氮氣吹掃后，氮氣分子先被吸附在真空系統的壁上。由于容器壁表面的吸附位點是確定的，在充滿氮分子后，水分子等其他分子會減少。真空系統的整個抽氣時間因此大大減少。

氮氣是一種穩定無害的氣體，能很好地保護螺桿真空泵，有效延長使用壽命，減緩腐蝕問題。