螺桿真空泵是利用一對螺桿在泵殼內進行同步高速換向以產生抽吸和排氣的抽吸裝置。是油封式真空泵的換代產品。 在粉塵較少的氣體場合，廣泛用于制藥、化工、半導體等需要高潔凈真空的企業。

兩個螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼內。螺桿之間有一定的間隙，所以泵在工作時，相互之間沒有摩擦，運行平穩，噪音低，工作腔不需要潤滑。因此，螺桿真空泵可抽出含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，具有真空度高、功耗低、節能、免維護等優點。是油封式真空泵的換代產品。

各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響。一般的真空系統不能滿足清潔、無油、耐腐蝕的要求。因此，近年來螺桿真空泵的市場需求非常大，真空產品也在不斷更新換代。因此，大量油基真空系統已被無油清潔真空系統所取代。國外幾乎每家大型真空公司都生產各種型號的螺桿真空泵。螺桿真空泵是一種非接觸式干泵，是1990年代初出現的理想泵。具有抽速范圍廣、結構簡單緊湊、無摩擦、使用壽命長、能耗低、對抽油室各部位無油污等優點，可廣泛應用。

由于其優越的性能，螺桿真空泵已成為歐美日等微電子、半導體、醫藥、精密機械加工等行業常用的真空收集設備。日本在螺桿壓縮機的基礎上，研制出真空泵用多頭轉子，很早就投放市場。幾家德國真空設備公司也逐漸開發出變槳和變槳轉子型材，并在轉子和機身冷卻方面做了大量的研究。

螺桿真空泵具有節能、免維護的優點。是油封/噴射/水環真空泵的更新換代產品，已廣泛應用于各大醫藥化工企業。根據不同的工藝條件，螺桿真空泵的過流部分（即轉子、泵體等與氣體接觸的部分）涂有防腐涂層，包括鎳磷涂層 和聚四氟乙烯。