螺桿真空泵是利用一對螺桿在泵殼內進行同步高速反轉，產生吸氣和排氣的吸氣裝置。是油封式真空泵的換代產品。在粉塵較少的氣體場合，廣泛用于制藥、化工、半導體等需要高潔凈真空的企業。

兩個螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼內。螺桿之間有一定的間隙，所以泵在工作時，相互之間沒有摩擦，運行平穩，噪音低，工作腔不需要潤滑。因此，螺桿真空泵可抽出含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，具有真空度高、功耗低、節能、免維護等優點。是油封式真空泵的換代產品。

各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響。一般的真空系統不能滿足清潔、無油、耐腐蝕的要求。因此，近年來螺桿真空泵的市場需求量非常大，真空產品也在不斷更新換代。因此，大量油基真空系統已被無油清潔真空系統所取代。國外幾乎每家大型真空公司都生產各種型號的螺桿真空泵。螺桿真空泵是一種非接觸式干泵，是1990年代初出現的一種理想的泵。具有抽速范圍廣、結構簡單緊湊、無摩擦、使用壽命長、能耗低、對抽油室各部位無油污等優點，因此可廣泛應用。

由于其優越的性能，螺桿真空泵已成為歐美日等微電子、半導體、醫藥、精密機械加工等行業常用的真空采集設備。日本在螺桿壓縮機的基礎上，研制出真空泵用多頭轉子，很早就投放市場。幾家德國真空設備公司也逐漸開發出變槳距和變槳距轉子型材，并在轉子和機體冷卻方面做了大量的研究。

螺桿真空泵具有節能、免維護的優點。是油封/噴射/水環真空泵的更新換代產品，已廣泛應用于各大醫藥化工企業。根據不同的工藝條件，螺桿真空泵的過流部分（即轉子、泵體等與氣體接觸的部分）有防腐涂層，包括鎳磷涂層和聚四氟乙烯。