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2022
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購買干式真空泵的注意事項(xiàng)
意外的干式真空泵錯(cuò)誤會(huì)降低機(jī)器效率,影響晶圓生產(chǎn)和交付,甚至導(dǎo)致晶圓報(bào)廢和其他部件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì),與球槽、爪形、組合等多級(jí)泵相比,所用零件數(shù)量可減少60%。這對(duì)于干式真空泵的穩(wěn)定性和未來的維護(hù)成本來說是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。一般來說,如果用戶認(rèn)為功耗對(duì)他來說很重要,那么選擇內(nèi)壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇,氮含量對(duì)他來說并不重要。但總的來說,對(duì)廢氣處理的要求越來越嚴(yán)格,未來減
為了適應(yīng)不同的使用要求,干式真空泵被分為許多不同類型的設(shè)備。對(duì)此,為了適應(yīng)不同的使用需求,下面將介紹如何正確選擇它們。
不同類型的干式真空泵,我們總是渴望能夠減小它們的物理尺寸。然而,這與真空泵的抽速相矛盾,真空泵的抽速與干式真空泵的體積成正比。更小的物理尺寸意味著更小的體積。當(dāng)然,影響干式真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配,需要提高速度。改變干式真空泵轉(zhuǎn)速的方法有兩種,一種是改變電源的頻率,即使用變頻器;另一種是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中,使用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制,但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然也只能提供單速,不可控。

意外的干式真空泵錯(cuò)誤會(huì)降低機(jī)器效率,影響晶圓生產(chǎn)和交付,甚至導(dǎo)致晶圓報(bào)廢和其他部件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì),與球槽、爪形、組合等多級(jí)泵相比,所用零件數(shù)量可減少60%。這對(duì)于干式真空泵的穩(wěn)定性和未來的維護(hù)成本來說是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。
一般來說,如果用戶認(rèn)為功耗對(duì)他來說很重要,那么選擇內(nèi)壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇,氮含量對(duì)他來說并不重要。但總的來說,對(duì)廢氣處理的要求越來越嚴(yán)格,未來減少氮?dú)獾氖褂镁惋@得尤為重要。如果您想在不使用簡單的庫存控制泵進(jìn)行更改的情況下處理各種半導(dǎo)體工藝,則外部壓縮螺桿干式真空泵是一個(gè)不錯(cuò)的選擇。
結(jié)合所有上述設(shè)計(jì)類型的優(yōu)點(diǎn)將是理想的,具體取決于具體情況,但目前還不可能。因此,用戶需要了解干式真空泵的設(shè)計(jì)類型,然后根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)了解不同類型泵設(shè)計(jì)的影響。這種選擇可以降低干式真空泵的使用成本,獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。
真空泵,干式真空泵