為了適應(yīng)不同的使用要求，干式真空泵被分為許多不同類型的設(shè)備。對(duì)此，為了適應(yīng)不同的使用需求，下面將介紹如何正確選擇它們。

不同類型的干式真空泵，我們總是渴望能夠減小它們的物理尺寸。然而，這與真空泵的抽速相矛盾，真空泵的抽速與干式真空泵的體積成正比。更小的物理尺寸意味著更小的體積。當(dāng)然，影響干式真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配，需要提高速度。改變干式真空泵轉(zhuǎn)速的方法有兩種，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；另一種是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中，使用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然也只能提供單速，不可控。

意外的干式真空泵錯(cuò)誤會(huì)降低機(jī)器效率，影響晶圓生產(chǎn)和交付，甚至導(dǎo)致晶圓報(bào)廢和其他部件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì)，與球槽、爪形、組合等多級(jí)泵相比，所用零件數(shù)量可減少60%。這對(duì)于干式真空泵的穩(wěn)定性和未來的維護(hù)成本來說是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。

一般來說，如果用戶認(rèn)為功耗對(duì)他來說很重要，那么選擇內(nèi)壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇，氮含量對(duì)他來說并不重要。但總的來說，對(duì)廢氣處理的要求越來越嚴(yán)格，未來減少氮?dú)獾氖褂镁惋@得尤為重要。如果您想在不使用簡單的庫存控制泵進(jìn)行更改的情況下處理各種半導(dǎo)體工藝，則外部壓縮螺桿干式真空泵是一個(gè)不錯(cuò)的選擇。

結(jié)合所有上述設(shè)計(jì)類型的優(yōu)點(diǎn)將是理想的，具體取決于具體情況，但目前還不可能。因此，用戶需要了解干式真空泵的設(shè)計(jì)類型，然后根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)了解不同類型泵設(shè)計(jì)的影響。這種選擇可以降低干式真空泵的使用成本，獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。