干式真空泵（也稱干式機械泵）是指泵在常壓下可啟動抽氣，可將抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔內無油或其他工作介質，壓力等于或接近油封真空泵的機械真空泵。

截至2013年，真空行業使用的機械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流體作為泵的工作介質，在泵內具有冷卻、密封、潤滑等多重功能。隨著科學技術的發展和真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其排氣系統有兩個迫切需要解決的問題：一是泵的工作介質倒流，污染被抽容器，而這種回流在很多情況下，會影響產品的質量和數量，增加設備的維護成本。其次，真空泵中的介質由于某些過程中的反應物而嚴重變質，使泵無法正常工作。

對于普通的無油真空系統，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來防止回流，但不能徹底解決問題，使系統復雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達到預期的效果。

干式真空泵應用廣泛，主要表現在以下幾個方面：

1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導體蝕刻工藝。在這些生產過程中經常使用干式真空泵或產生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對于半導體工藝以外的一些會產生顆粒的工藝，預計顆粒不會混入干式真空泵的泵油中，預計顆粒會從泵中排出。某些類型的干式機械真空泵可以滿足要求；

4、化工、醫藥、食品等行業的蒸餾、干燥、脫氣、包裝過程中，應防止有機溶劑造成污染，應使用干式真空泵；

5、采用干式真空泵作為一般無油潔凈真空系統的前級泵，防止油污。