在清潔螺桿真空泵機組之前，請采取適當的保護措施，例如戴防毒面具，然后遵循正確的清潔方法。由于螺桿真空泵機組已經在惡劣的環境中運行了較長的時間，因此它們可能會暴露于某些化學物質并需要其他特殊的清潔方法：

1、電化學清洗：將要清洗的金屬零件放在一定的溶液中，然后將零件連接到電源的正極或負極，然后將由某種材料制成的板連接到電源的另一極。 電源可以調節電源電壓以達到一定的電流密度，以達到脫脂和去除金屬表面氧化層的目的。

2、酸和堿蝕刻處理：在脫脂之后，進行蝕刻處理以去除螺桿真空泵機組金屬表面上的氧化物。熱處理后，油漬不再存在，可以直接進行蝕刻處理以去除退火后的氧化。蝕刻處理通常在酸性溶液中進行。大多數金屬氧化物和金屬本身可以與適當濃度的酸溶液發生化學反應。氧化物與酸反應形成鹽和水，金屬與酸反應形成鹽和氫。一旦一些氫被螺桿真空泵機組的金屬表面吸收，一些金屬就會變脆。為了避免金屬脆性和過度腐蝕，可以將腐蝕抑制劑添加到蝕刻溶液中，并適當地控制蝕刻溶液的濃度和溫度。

3、超聲波清洗：超聲波清洗的原理是利用由其引起的介質的“真空現象”，即超聲波振動改變了清洗介質的密度，從而達到清洗的目的。振動會使介質變稀，有時會閉合 稀缺時，將形成瞬時空間。當關閉時，瞬時沖擊力可以達到各種大氣壓。這種強烈的沖擊將破壞螺桿真空泵機組表面上的油膜，并將其與污染物表面從物體表面分離。

簡而言之，在螺桿真空泵機組長期運行后，需要定期清潔真空泵，以使其在將來更好地工作。這些特殊的清潔方法還可以清除真空系統中排放的大量物質，并清除蒸氣壓較高的物質，因此必須進行徹底處理。特別是在螺桿真空泵機組長時間運行后，無論表面還是內部，都會有一些污垢影響設備的運行。如果內部清潔不徹底，將影響泵的運行。