真空機(jī)組由羅茨泵為主泵，水環(huán)泵為后備泵串聯(lián)而成。為水環(huán)真空單元選擇的水環(huán)泵比其他真空泵作為后備泵更具優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗粌H克服了使用單個(gè)水環(huán)泵時(shí)的壓力差，超過(guò)水環(huán)泵的極限壓力，而且克服了在一定壓力下抽速低的缺點(diǎn)，同時(shí)羅茨泵可以快速工作，并具有抽速較大的優(yōu)點(diǎn)。

真空機(jī)組適用于泵送大量冷凝蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵去除冷凝蒸汽的能力不足，或者所用溶劑會(huì)使泵油變質(zhì)并影響性能，或者真空系統(tǒng)不起作用時(shí)。 如果配備了防爆電機(jī)和電器并遵守相應(yīng)的安全規(guī)則，真空機(jī)組還可以提取易燃易爆氣體。

真空機(jī)組中的水環(huán)泵的功能主要是創(chuàng)建羅茨泵所需的初步真空。一般而言，單級(jí)水環(huán)泵的真空度不高，而我國(guó)生產(chǎn)的羅茨泵所需的預(yù)真空度卻相對(duì)較高。因此，我們通常不使用單級(jí)水環(huán)泵作為羅茨泵的后備泵，而是使用壓力較低的兩級(jí)水環(huán)泵作為后備泵，這也會(huì)降低真空機(jī)組的壓力。

泵和水環(huán)泵的壓力為400Pa，可以滿(mǎn)足一般的真空要求，但其使用范圍會(huì)受到一定的限制。如果將兩個(gè)羅茨泵串聯(lián)，然后與水環(huán)泵組合使用，則可以大大增加設(shè)備的壓力（可以達(dá)到25Pa）。因此，在這種類(lèi)型的真空機(jī)組中，通常可以看到兩個(gè)羅茨泵串聯(lián)連接，然后將兩級(jí)泵用作前泵來(lái)構(gòu)成一個(gè)單元。如果需要更高的壓力，則可以將三個(gè)羅茨泵與水環(huán)泵結(jié)合使用，其壓力可以達(dá)到1Pa。

如果三級(jí)水環(huán)單元仍不能滿(mǎn)足壓力需求，我們可以將水環(huán)泵與機(jī)械真空泵并聯(lián)使用。這種真空機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸氣，時(shí)間長(zhǎng)和對(duì)最終真空有較高要求的真空系統(tǒng)，例如真空干燥。