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2019
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水環羅茨真空機組工作原理的基本介紹
在選擇前級泵時也考慮了水環羅茨真空機組的最終壓力要求。對極限真空的要求很高(高達1×10-3Pa~1×10-2Pa的壓力)。通常使用雙級旋轉葉片油封。機械泵或兩級機械泵用作前級泵。極限真空需要單級油封機械泵作為(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之間的前級泵。極限真空需要往水環羅茨真空機組或液環在133和1333pa之間。真空泵用作前級泵。 當選用往復式或液環式粗真空泵作為水環羅茨真空機組的前
在選擇前級泵時也考慮了水環羅茨真空機組的最終壓力要求。對極限真空的要求很高(高達1×10-3Pa~1×10-2Pa的壓力)。通常使用雙級旋轉葉片油封。機械泵或兩級機械泵用作前級泵。極限真空需要單級油封機械泵作為(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之間的前級泵。極限真空需要往水環羅茨真空機組或液環在133和1333pa之間。真空泵用作前級泵。
當選用往復式或液環式粗真空泵作為水環羅茨真空機組的前級泵時,前級泵的抽速一般為水環羅茨真空機組的1 / 2-1 / 4,不能太大,否則將超過壓縮比。很大,導致水環羅茨真空機組的排氣溫度很高,無法正常工作。選擇前級泵時,還必須考慮水環羅茨真空機組泵送氣體中是否存在腐蝕性介質,是否含有可冷凝氣體,無論是大還是小。如果含有腐蝕性氣體,則不能使用油封機械泵。油封機械泵不適合抽出含有大量可冷凝蒸汽的氣體。否則,密封液將快速乳化,并且將除去含有可追蹤可冷凝蒸汽的氣體。同時,還必須使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵作為前級泵。
為了在低入口壓力(1-100pa)下獲得高泵送速率,水環羅茨真空機組可用作三級或四級單元,其由另一個羅水環羅茨真空機組的前級泵組成。泵送速度比通常在2和5之間。