氣冷羅茨泵意味著該泵可以在大氣壓下開始泵送，并且可以將泵送的氣體直接排放到大氣中。 泵腔內沒有油或其他介質，并且泵的極限壓力與油密封的真空泵處于同一水平。 或靠近機械真空泵。

  在氣冷羅茨泵行業中，當前大多數真空泵都使用油，水和其他聚合物作為泵介質。 它們的主要功能是潤滑，冷卻和密封。 但是，真空泵和抽運系統有以下問題要解決：1.泵的工作介質污染了抽運的容器。 最直接的后果是它將影響產品質量并增加泵的維護成本；  2.在此過程中，反應材料會使泵中的介質變質，從而導致泵體無法正常工作。 這是當前面臨的兩個主要問題。

  氣冷羅茨泵的使用可以取得很好的效果，那么氣冷羅茨泵的應用領域是什么？ 以下將重點介紹其應用范圍：

  （1）氣冷羅茨泵適用于化學，制藥和食品行業的蒸餾，干燥，脫氣，包裝等，以防止有機溶劑污染；

  （2）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝；

  （3）半導體刻蝕工藝，這些生產工藝經常使用腐蝕性氣體和磨料顆粒；

  （4）除半導體工藝外，某些還會產生顆粒的工藝。 在這些過程中，顆粒不會混入油泵中，而是從油泵中排出，這可以通過干式真空泵解決。

  （5）用作常規無油清潔真空系統的前泵，以防止油污染。