20
2019
-
10
真空泵在電子半導體行業的應用
淄博華中真空設備有限公司主營的真空泵有:螺桿真空泵、羅茨真空泵、水環式真空泵(液環真空泵)、干式真空泵、真空機組等
也許,你在想干式螺桿真空泵廠家會如何演說這一個應用。其實,很簡單啊,根據行業進行追溯。首先,我們知道:電子半導體行業主要包括電子技術、半導體、多晶硅/單晶硅、太陽能和光電顯示領域。
干式螺桿真空泵廠家淄博華中真空設備有限公司根據行業追溯后,整理電子半導體行業所需應用主要分為三大類:生產用真空(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。不同類型的領域需要不同的真空泵。
干式螺桿真空泵應用部分
生產用真空主要通過高真空使工作空間空氣減少,保持工作空間的潔凈,主要使用的真空泵類型包括干泵(干式螺桿真空泵、爪式泵)和分子泵及其機組。生產用真空設備在數量上較大,單機功率較小。
清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送,此類應用主要采用水環泵和多級離心風機,因為真空度低所以更多的是采用多級離心風機,真空源是其系統的一部分。
工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持,螺桿泵、爪式泵等干泵以及水環泵、旋片泵、微油螺桿泵都是工藝真空中常見的真空設備。
淄博華中真空設備有限公司主營的真空泵有:螺桿真空泵、羅茨真空泵、水環式真空泵(液環真空泵)、干式真空泵、真空機組等
真空泵,螺桿真空泵,羅茨真空泵,水環式真空泵,真空機組